Metal organik kimyoviy bugʻlarni choʻktirish (MOCVD) bu protsess boʻlib, yuqori toza kristalli birikma yarim oʻtkazgich yupqa plyonkalar va mikro/nano tuzilmalarniyaratish uchun ishlatiladi. Nozik sozlash, keskin interfeyslar, epitaksial yotqizish va yuqori darajadagi dopant nazoratiga osongina erishish mumkin.
MOCVD va CVD o'rtasidagi farq nima?
MOCVD. Metall organik kimyoviy bug'larni cho'ktirish (MOCVD) kimyoviy bug'larni cho'ktirishning (CVD) bir varianti bo'lib, odatda kristalli mikro/nano yupqa plyonkalar va tuzilmalarni joylashtirish uchun ishlatiladi. Nozik modulyatsiya, keskin interfeyslar va yaxshi darajadagi dopant nazoratiga osongina erishish mumkin.
Kimyoviy bug 'birikishi uchun qanday ikki omil bo'lishi kerak?
Biroq, CVD jarayonlari odatda yuqori harorat va vakuum muhitini talab qiladi va prekursorlar uchuvchan bo'lishi kerak.
Pecvd tizimi nima?
Plazmada mustahkamlangan kimyoviy bugʻning choʻkishi (PECVD) bu protsess boʻlib, uning yordamida turli materiallardan iborat yupqa qatlamlar substratlarga standart Kimyoviy bugʻ choʻkmasi (CVD) haroratidan pastroq haroratdayotqizilishi mumkin.). Biz yuqori sifatli filmlar ishlab chiqaradigan PECVD tizimlarimizda ko'plab yangiliklarni taklif qilamiz. …
Pecvd bug'ni fizik cho'ktirish texnikasimi?
PECVD - bu koʻp turdagi filmlarni joylashtirish uchun yaxshi oʻrnatilgan texnika. Koʻp turdagi qurilmalar yuqori sifatli passivatsiya yoki yuqori zichlikdagi niqoblar yaratish uchun PECVD talab qiladi.
