Fotolitografiya naqshni niqobdan gofretga oʻtkazish uchun uchta asosiy jarayondan foydalanadi: qoplash, ishlab chiqish, ochish. Naqsh keyingi jarayon davomida gofretning sirt qatlamiga o'tkaziladi. Ba'zi hollarda qarshilik naqshidan yupqa qatlam qo'yilgan naqshni aniqlash uchun ham foydalanish mumkin.
Fotolitografiya nima? U qanday ishlaydi?
Fotolitografiya bu naqshlash jarayoni boʻlib, unda fotosensitiv polimer niqob orqali yorugʻlikka tanlab taʼsir qiladi va polimerda yashirin tasvir qoldiradi, keyinchalik uni tanlab eritib, naqsh hosil qiladi. asosiy substratga kirish.
Fotolitografiya nima uchun ishlatiladi?
Fotolitografiya mikrofabrikatsiyaning eng muhim va eng oson usullaridan biri boʻlib, materialda batafsil naqshlar yaratishda foydalaniladi. Bu usulda nurga sezgir polimerni ultrabinafsha nurga tanlab ta'sir qilish orqali shakl yoki naqshni chizish mumkin.
Nima uchun ultrabinafsha nurlar fotolitografiyada ishlatiladi?
Fotolitografiya UV nurlari ostida hujayra oʻz ichiga olgan prepolimerni oʻzaro bogʻlash orqali gidrogellar ichidagi hujayralarni 3D inkapsulyatsiya qilish imkonini beradi. Istalgan naqshni olish uchun foto maskasi ishlatiladi [88].
Fotolitografiya talablari qanday?
Umuman olganda, fotolitografiya jarayoni uchun uchta asosiy material, yorugʻlik manbai, foto niqobi va fotorezist kerak boʻladi. Fotorezist, fotosensitiv material,ijobiy va salbiy ikki turga ega. Ijobiy fotorezist yorug'lik manbasiga ta'sir qilgandan keyin eriydi.
