Fotolitografiya odatda kompyuter chiplarini ishlab chiqarish uchun ishlatiladi. Kompyuter chiplarini ishlab chiqarishda substrat materiali kremniyning qarshilik bilan qoplangan gofretidir. Bu jarayon yuzlab chiplarni bir vaqtning o‘zida bitta kremniy gofretga qurish imkonini beradi.
Fotolitografiya qanday amalga oshiriladi?
Fotolitografiya naqshni niqobdan gofretga oʻtkazish uchun uchta asosiy jarayondan foydalanadi: qoplash, ishlab chiqish, ochish. Naqsh keyingi jarayon davomida gofretning sirt qatlamiga o'tkaziladi. Ba'zi hollarda qarshilik naqshidan yupqa qatlam qo'yilgan naqshni aniqlash uchun ham foydalanish mumkin.
Nega u fotolitografiya deb ataladi?
Yarim oʻtkazgichli litografiya (fotolitografiya) - Asosiy jarayon . Integral mikrosxemani (IC) ishlab chiqarish yarimoʻtkazgich (masalan, kremniy) substratda bajariladigan turli fizik va kimyoviy jarayonlarni talab qiladi. … Litografiya soʻzi yunoncha litos, tosh degan maʼnoni va graphia - yozish degan maʼnoni anglatadi.
Nima uchun litografiya muhim?
Litografiya - bu niqobdagi geometrik shakllarning naqshlarini yarimo'tkazgichli gofret yuzasini qoplaydigan nurlanishga sezgir materialning yupqa qatlamiga(rezistent deb ataladi) o'tkazish jarayoni. 5.1-rasmda IC ishlab chiqarishda qo'llaniladigan litografik jarayon sxematik tarzda ko'rsatilgan.
Litografik usullarda qaysi usul eng koʻp qoʻllaniladi?
Optiklitografiya - bu fotonga asoslangan usul bo'lib, tasvirni kremniy gofreti kabi substratga qoplangan fotosensitiv emulsiyaga (fotorezist) proyeksiya qilishdan iborat. Bu yarimo'tkazgich sanoati tomonidan nanoelektronikani yuqori hajmli ishlab chiqarishda eng keng tarqalgan litografiya jarayonidir.