Fotolitografiya - bu mikrofabrikada geometrik naqshlarni plyonka yoki substratga o'tkazish uchun ishlatiladigan jarayon. Yarimo'tkazgichdagi geometrik shakllar va naqshlar murakkab tuzilmalarni tashkil qiladi, ular qo'shimchalar, elektr xususiyatlar va simlar zanjirni yakunlash va texnologik maqsadni bajarish imkonini beradi.
Fotolitografiya jarayoni nima?
Fotolitografiya, shuningdek, optik litografiya yoki UV litografiya deb ham ataladi, bu bu mikrofabrikada yupqa plyonka yoki substratning asosiy qismiga (shuningdek, gofret deb ataladi) naqsh solish uchun ishlatiladigan jarayondir. … Murakkab integral mikrosxemalarda CMOS gofreti fotolitografik sikldan 50 martagacha oʻtishi mumkin.
Mikrofabrikatsiya jarayoni qanday?
Mikrofabrikatsiya - bu mikrometr masshtabli va undan kichikroq miniatyura konstruksiyalarini ishlab chiqarish jarayoni. … Mikrofabrikaning asosiy tushunchalari va tamoyillari mikrolitografiya, doping, yupqa plyonkalar, oʻqlash, yopishtirish va jilolashdir.
Yarim o'tkazgichlarda litografiya jarayoni nima?
Yarim o'tkazgichli litografiya tizimi jarayonini amalga oshiradi, bunda katta shisha plastinkadan yasalgan fotoniqobga chizilgan juda murakkab sxemalar ultra yuqori samarali linzalar yordamida qisqartiriladi vadeb nomlanuvchi kremniy substratga ta'sir qiladi.gofret. …
Yaratish jarayonida litografiya nima?
Litografiyaniqobdagi geometrik shakllarning naqshlarini yarimo'tkazgichli gofret yuzasini qoplaydigan nurlanishga sezgir materialning yupqa qatlamiga o'tkazish jarayoni (rezistent deb ataladi). 5.1-rasmda IC ishlab chiqarishda qo'llaniladigan litografik jarayon sxematik tarzda ko'rsatilgan.
